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基于SEM纳米操作机

基于SEM纳米操作机

成果拥有单位:哈尔滨工程大学

成果简介:

纳米操作机是实现纳米电子器件制造、纳米尺度测量、纳米材料表征等纳米制造过程必不可少的高端仪器装备,目前美国、德国、加拿大、日本等少数国家掌握其核心技术。在国际上首次研究出可以通过SEM交换室安装的新型的三自由度跨尺度闭环纳米操作机,首次提出在纳米尺度基于SEM视觉反馈的接触检测深度信息获取方法,解决了纳米操作二维手动操作且效率低的国际学术难题,实现了纳米尺度的三维自动化操作及纳米材料特性自动化原位测量。纳米操作机实现了纳米器件的自动操作与装配,为纳米传感器等纳米电子器件制造提供新的方法和装备,实现中国纳米产品工业化及批量化应用,提升我国在纳米制造领域的竞争力。该项目是与多伦多大学、日本日立公司合作,所开发的纳米操作机已经集成于日立公司的扫描电镜,拟在世界范围内销售。获得3M-NANO 2011最佳国际会议论文。

主要技术指标:整体尺寸10*8*5mm3,行程10*10*10mm,分辨率0.5nm,重复定位精度5nm。

PCT国际专利:Yu Sun*, Changhai Ru, Yong Zhang. “Manipulator carrier for electron microscopes”. 国际申请号:PCT/CA2010/000521,国际出版号:WO2011/123923。

人 气:38

标 签:基于SEM纳米操作机
商品介绍

项目成熟情况 技术成熟,已进入试生产阶段。

应用范围 纳米制造,纳米操作,纳米材料特性测量,纳米电子器件制造。

合作方式:面议。

联系方式:

联系人:汝长海所在院系:自动化学院

通信地址及邮编:哈尔滨南岗区南通大街145号41#楼,150001

E-mail:rchhai@gmail.com电话:13845109832

统一联系方式:

联系人:方超  联系电话:0451-82518618

地址:哈尔滨工程大学科学技术研究院  

邮箱:250649252@qq.com

 

本文网址:http://cscip.cn/gaoxiaokeyanchengguochi/1893.html
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